Pada umumnya, sebelum melakukan persembahyangan, baik dengan puja Trisandya maupun Panca Sembah, didahului dengan penyucian badan dan sarana persembahyangan. Urutannya sebagai berikut:

Duduk dengan tenang. Lakukan Pranayama dan setelah suasananya tenang ucapkan mantram ini:

Om prasada sthiti sarira siwa suci
nirmalàya namah swàha

Artinya: Ya Tuhan, dalam wujud Hyang Siwa hambaMu telah duduk tenang, suci dan tiada noda.

Kalau tersedia air, bersihkan tangan pakai air. Kalau tidak ada ambil bunga dan gosokkan pada kedua tangan. Lalu telapak tangan kanan ditengadahkan di atas tangan kiri dan ucapkan mantram:

Om suddha màm swàha

Artinya: Ya Tuhan, bersihkanlah tangan hamba (bisa juga pengertiannya untuk membersihkan tangan kanan).

Lalu, posisi tangan di balik. Kini tangan kiri ditengadahkan di atas tangan kanan dan ucapkan mantram:

Om ati suddha màm swàha

Artinya: Ya Tuhan, lebih dibersihkan lagi tangan hamba (bisa juga pengertiannya untuk membersihkan tangan kiri).

Kalau tersedia air (maksudnya air dari rumah, bukan tirtha), lebih baik berkumur sambil mengucapkan mantram di dalam hati:

Om Ang waktra parisuddmàm swàha

atau lebih pendek:

Om waktra suddhaya namah

Artinya: Ya, Tuhan sucikanlah mulut hamba.

Jika tersedia dupa, peganglah dupa yang sudah dinyalakan itu dengan sikap amusti, yakni tangan dicakupkan, kedua ibu jari menjepit pangkal dupa yang ditekan oleh telunjuk tangan kanan, dan ucapkan mantra:

Om Am dupa dipàstraya nama swàha

Artinya: Ya, Tuhan/Brahma tajamkanlah nyala dupa hamba sehingga sucilah sudah hamba seperti sinarMu.